足够剂量的Y射线可以杀死上所有的细菌和病毒。此方法的特点为:①需特殊的防护措施和消毒设备，价格昂贵，只适用于一次大批器材的集中消毒，②消毒期间不需加温，因此，适用于不耐热材料和物品的消毒，③呼吸机消毒后可以立即使用，放射活性不存留.④将呼吸机放在密闭容器中消毒，不影响消毒效果，且可长期保存，⑤对呼吸机某些塑料制品，尤其是聚叙乙烯制品.在使用Y射线照射消毒法后，不宜再使用环氧乙烷消毒，因为会产生氯醇乙烯气体，其对组织有极大的毒性，且不易被洗净，故一般不用Y射线照射法消毒呼吸机管道。